一、主要用途：

该产品主要用于硅圆片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构（也可按用户要求配置），主要的作用是：喷淋旋转冲洗＋离心甩干＋氮气加热烘干。

二、主要技术特点

  1.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。

2.采用彩色液晶汉显监控，可存储十种用户工艺菜单。

3.结构采用净化处理技术。

4.去离子水电阻率监控。

5.防静电控制。

6.氮气温度控制，腔体温度控制。

7.转轴氮气密封。

8.可选无刷电机驱动。

9.旋转载体定位。

10.故障自动诊断，显示及报警系统。

11.可按用户特殊要求配制。

三、结构特点：

1.轴用直流伺服电机实现无级调速，离心转桶最高转速2800转/分。

2.离心转桶的转轴和甩干桶之间采用氮气动密封，减少对环境的污染。

3.橡胶门在工作时充气膨胀，起到密封与安全作用，门上装有安全连锁装置，只有关上门后才能启动。

4.气加热器可以提供热氮气，加速甩干桶水分的蒸发。

5.定向制动装置，每次停机时，硅片承载器的开口向上，防止硅片掉出。

6.主要结构采用不锈钢。

四、主要技术参数：

1.适用范围：8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸硅片的清洗甩干。

2.清洗时的转速：1000转/分以下连续可调。

3.甩干时的转速：2800转/分以下连续可调。

五、功能介绍：
　　1． 容量大，大直径,一次可洗4盒-6盒
　　2． 采用变频技术，清洗和甩干速度按使用要求随意变换，并按实时显示在液晶屏上
　　3． 采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠
　　4． PLC全自动控制，整个过程智能化
　　5． 液晶智能显示工作状态及数据
　　6． 采用油浴炉加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控，并显示在液晶屏上，并有过热保护
　　7． 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换
　　8． 清洗的时间可以根据需要随意调整
　　9． 整机采用不能磁化的不锈钢和铝板为原材料
　　10． 保证能够清洗甩干156mm以下规格的电池片
　　11． 可根据用户使用场合及洁净度要求，工件的最大加工直径及兼容性，生产和技术发展的需要定制符合其硅片规格的各类机型

六、主要特色：
　　1.融合欧洲同类产品先进技术
　　2.清洗甩干烘干一次完成
　　3.整个工作时间短，效率高，一般只需5-6分钟
　　4.可以清洗103mm~156mm 各种规格的硅片